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高純氮氣

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高純氮氣

詳細介紹

高純氮氣

高純氮氣

物理性質(zhì)
high purity nitrogen
分子式: N2
性質(zhì):純度大于99.999%。無(wú)色無(wú)臭無(wú)味無(wú)毒的惰性氣體。相對密度ds(21.1℃,空氣=1)0.967。氣體密度1.153kg/m3(21.1℃,101.3kPa);液體密度808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。
相對分子質(zhì)量 28.013
熔點(diǎn) 63.15K,-210℃,-346oF
沸點(diǎn),195.6
臨界溫度 126.1K,-147.05℃,-232.69oF
臨界壓力 3.4MPa,33.94bar,33.5atm,492.26psia
臨界體積 90.1cm3/mol
臨界密度 0.3109g/cm3
臨界壓縮系數 0.292
偏心因子 0.040
液體刻密度 ,-180℃時(shí) 0.729g/cm3
液體熱膨脹系數 ,-180℃時(shí) 0.00753 1/℃
表面張力 ,-210℃時(shí) 12.2×10-3 N/m,12.2dyn/cm
氣體密度 ,101.325 kPa(atm)和70oF(21.1℃)時(shí) 1.160kg/m3 ,0.0724 lb/ft3
氣體相對密度,101.325 kPa(1atm)和70oF時(shí)(空氣=1) 0.967
汽化熱 , 沸點(diǎn)下 202.76kJ
,87.19 BTU/1b
熔化熱 , 熔點(diǎn)下 25.7kJ
,11.05 BTU/1b
氣體定壓比熱容 cp ,25 ℃時(shí) 1.038kJ/(kg· k),0.248 BTU/(1b·R)
氣體定容比熱容 cp ,25 ℃時(shí) 0.741kJ/(kg· k),0.177 BTU/(1b·R)
氣體比熱容比 , cp/cv 1.401
液體比熱容 ,-183℃時(shí) 2.13kJ/(kg·k ),0.509 BTU/(1b·R )
因體比熱容 ,-223℃時(shí) 1.489kJ/(kg·k ),0.356 BTU/(1b·R )
氣體摩爾熵 ,25℃時(shí) 191.5 J/(mol·k )
氣體摩爾生成熵 ,25℃時(shí) 0 J/(mol·k )
氣體摩爾生成焓 ,25℃時(shí) 0 KJ/mol
氣體摩爾吉布斯生成能 ,25℃時(shí) 0 KJ/mol
溶解度參數 9.082 (J/cm3 )0.5
液體摩爾體積 34.677 cm3 /mol
在水中的溶解度 ,25℃時(shí) 17.28×10 -6(w)
氣體黏度 ,25℃時(shí) 175.44×10 -7 Pa·s,175.44μP
液體黏度 ,-150℃時(shí) 0.038mPa ·s,0.038 cp
氣體熱導率 ,25℃ 時(shí) 0.02475 W/(m · K)

液體熱導率 ,-150℃時(shí) 0.0646W/(m · K)

用途

在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運載氣,化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣,液體擴散源的攜帶氣,在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中,作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術(shù)中,液氫加注系統必須先用高純氮置換,再用高純氦置換。
消防應急措施
迅速撤離泄漏污染區人員至上風(fēng)處,并進(jìn)行隔離,嚴格限制出入。建議應急處理人員戴自給正壓式呼吸器。不要直接接觸泄漏物。盡可能切斷泄漏源。防止氣體在低凹處積聚,遇點(diǎn)火源著(zhù)火爆炸。用排風(fēng)機將漏出氣送至空曠處。漏氣容器要妥善處理,修復、檢驗后再用。用霧狀水保持火場(chǎng)中容器冷卻??捎渺F狀水噴淋加速液氮蒸發(fā),但不可使用水槍射至液氮。如吸入高純氮,感到呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進(jìn)行人工呼吸。就醫。 



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